无尘室有五个特性 : (l)耐久性。(2)成本。 (3)适应性。 (4)可维护性 。(5)清洗 。
　
(1)耐久性:

　无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。
而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝，基于它的耐久性，然
而，它不是便宜的物质。

(2)清洗:

　在制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或
细菌的污染之特性。在 biotech 市场，清洗真正地是一个最重要的企业。
　
(3)成本:

　微电子 C/R 建设费可能花费到$10亿。fab 能更快的被建造起来，产品也就能更快达到这
市场。 许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因
素。

(4)适应性:

　一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极
大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键，所以他们从不将最初的设计
定型。

(5)维护性:

　对无尘室 C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。 至于维修的
问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地
板及墙壁三者之中最重要的为天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等滤网，其可过滤掉房间
的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人
说 :若建造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步，其
实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须精确。

　许多了解无尘室的人都赞同，第一次拥有无尘室的拥有者，应使用较好之C/R 建筑或工程
设计公司或了解建筑　C/R　设计之建筑承包商若假设他们不了解， 则必会浪费一大笔不必
要花的钱，故选择一建造C/R 的公司也是非常重要的。

　对 C/R 而言，其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层乙烯基在薄
板上，若太硬的地板覆盖会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂，但并不是所
有 C/R 的地板，都会覆盖，乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式，而全面层流都是冲孔式。
乙烯基有一作用即脱氧，但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果，而无
尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵，但铝却可以保护墙面不被空气所氧化，可是却易
受酸性气体的侵蚀，而避免的方法是使用电镀，便铝表面增厚，不易氧化，再在铝表面上再
涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。

　对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严
格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除
地板所用者大部分为消毒药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，
快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

　另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式 C/R 而花板的组
成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，这类型的天花板优点为，
放置方式并没有严格的限制。

　C/R 之墙壁还有一种是以薄钢制成，但必须在表层涂上一层保护层，否则亦会腐蚀，它并
不容易电镀，而在表层涂上的保护层会变得易碎，很容易剥落，但若选择高品质的不锈钢，
就不必涂上保护层7，而使用玻璃作的 C/R 会使得房间的光线大增，以及美观，但必须涂上
一抗紫外线的障碍物，且可以视觉互通，较不会产生幽闭恐惧症。